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API Xd激光干涉儀（測量六項誤差參數）

Xd激光干涉儀是wei一一個可以在一次設置中同時測量所有6個誤差參數的評估系統。一次安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結果表明，節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。

主要特點：

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角 
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態(tài)特性。 
5. 全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間

準確的數據采集：
      實時的誤差測量確保了數據采集的正正確性以及高精度的誤差分析自動的數據采集技術，簡化了數據采集的過程。

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。 
    若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

應用：

XD Laser被來自世界名地的API用戶用于：
、CMMICNC的校準、補償
、機床導軌平行度的測量
、旋轉額的測量
、垂直度的測量
、對角線的測量
、CNC反饋
、機器人位置反饋

API XD干涉儀線性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時測量其它五個參數;
¾ 可利用電腦中的直線度實時顯示,
數字化去除余弦差，測量準確;
¾ 兩點調光，對光迅速

直線度測量— API XD的方法

應用良好的PSD技術：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉化為電信號)

¾ 不怕斷光，可用于導軌的安裝調試(類似于自準直儀)
¾ 對直線度進行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術1:1進行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機床的時間，也可避免人為差錯。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術來測量小角度: 當入射光經分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經透鏡聚在焦點上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
¾ 不受滾動角的影響，調整光路容易